Reducir las emisiones de carbono en las fábricas de semiconductores: La magia de las lámparas infrarrojas recubiertas de oro
Si deseas reducir tu huella de carbono en una fábrica de semiconductores, debes comenzar por controlar el calor. Los métodos de calentamiento tradicionales son simplemente desperdiciadores de energía. Es como tratar de calentar un solo plato de comida calentando toda la cocina.
Por eso utilizamos lámparas infrarrojas recubiertas de oro. Estas lámparas proporcionan el calor intenso necesario para el procesamiento de los wafers, sin desperdiciar la mitad de la energía.
¿Por qué el oro?
Los tubos de cuarzo convencionales están bien, pero desperdician energía en todas direcciones. Para solucionarlo, añadimos una capa fina de oro en su superficie. Puedes pensar en ello como un espejo que refleja el calor hacia el objetivo deseado. De esta manera, se obtiene un haz de luz más concentrado y la temperatura aumenta casi instantáneamente.
Lo mejor de todo es que el chasis de la máquina no se convierte en un horno. Dado que el calor se concentra en un punto específico, los ventiladores de enfriamiento no necesitan funcionar a toda potencia para evitar que la máquina se derrita. Todo funciona mejor.
La técnica de “dos tubos”
No utilizamos un solo tubo, sino dos. Esto duplica la superficie de radiación, sin ocupar más espacio en la instalación. Nos permite utilizar mayor potencia sin preocuparnos de que los tubos se dañen debido a puntos calientes locales. En un ambiente de sala limpia, esto es importante, ya que permite que el calor llegue uniformemente al wafer. Sin puntos fríos ni sorpresas.
Pero hay algo importante: debes estar atento a la fuente de alimentación. Cuando se utiliza tanta potencia, los cables también sufren. Si los terminales no son adecuados, habrá caídas de voltaje, lo cual afectará negativamente la eficacia del sistema de calentamiento.
Hacer que la fábrica sea más ecológica
La ventaja real es que al reemplazar los calentadores convencionales por estos sistemas infrarrojos, se reduce el tiempo necesario para calentar los wafers de minutos a segundos. Eso significa una enorme reducción en el consumo de energía por cada wafer.
Estos sistemas están diseñados para ser reemplazos directos. No es necesario desmontar las máquinas ni gastar mucho dinero en su reconstrucción. Basta con cambiar los componentes correspondientes, concentrar la energía donde sea necesario y dejar de pagar por un calor que en realidad no se utiliza.