Eliminación del ozono en los sistemas de calentamiento para semiconductores
La elaboración de semiconductores requiere un control preciso de la temperatura. Pero durante mucho tiempo, hemos tenido un problema molesto: los métodos tradicionales de calentamiento tienden a perder energía y a producir ozono. Para solucionar esto, las fábricas tienen que utilizar sistemas complejos y consumidores de energía para mantener el aire libre de sustancias tóxicas.
Hemos encontrado una forma mejor. Al utilizar lámparas de infrarrojos que evitan la longitud de onda de 185 nanómetros, podemos evitar que las moléculas de oxígeno se rompan. En otras palabras: no hay ozono. Resolvemos el problema desde su origen, en lugar de tratar de limpiarlo posteriormente.
Ahorro de energía (y de estrés)
Si queremos alcanzar los objetivos de una “fábrica verde”, todo depende de cuántos kilovatios-hora se consumen por cada wafer procesado.
Lo bueno de nuestros sistemas de infrarrojos es que utilizan calor radiante directo. No se desperdicia energía calentando todo el aire de la cámara; solo se calienta el sustrato. Esto es muy diferente de los antiguos hornos de convección, que dispersan el calor por todas partes.
Además, estas lámparas alcanzan la temperatura deseada en segundos. Ya no hay necesidad de esperar largos tiempos de calentamiento mientras el medidor sigue marcando valores altos.
La realidad
Esto no es magia. Las lámparas de alta intensidad emiten mucho calor concentrado. Si se desea un calentamiento rápido, es necesario asegurarse de que los sistemas de enfriamiento puedan manejar esa cantidad de calor. De lo contrario, el resto del equipo se sobrecalentará. Por lo general, recomendamos usar controladores PID para mantener el consumo de energía bajo control y evitar que la temperatura se dispare.
Un alivio en las salas limpias
Lo mejor es que, al eliminar el ozono, ya no es necesario aumentar al máximo la ventilación para eliminar los gases tóxicos. Los sistemas de tratamiento del aire pueden descansar. Menos energía gastada en los ventiladores significa una menor huella de carbono.
Para los ingenieros, es un cambio sencillo: se logra un proceso más limpio, sin necesidad de instalar sistemas químicos complejos. Simplemente funciona.