Tratar de mantener frío el interior de las herramientas utilizadas en la fabricación de semiconductores, al mismo tiempo que se aumenta la temperatura del proceso, es un verdadero desafío. La mayoría de los calentadores convencionales dispersan el calor por todas partes. Es como poner un calefactor en una caja de cartón: con el tiempo, todo el chasis funcione como un gran radiador. Los equipos costosos se sobrecalen, y los operadores tienen que preocuparse por no quemarse.
Encontramos una solución mejor: el calentamiento por infrarrojos dirigidos. En lugar de dejar que el calor se disipe de manera aleatoria, utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta. Estas lámparas dirigen la energía directamente hacia donde se necesita: justo sobre la oblea o el sustrato.
De esta manera, se evita ese problema del “calor excesivo” que suele afectar las paredes del equipo. Se obtiene la energía térmica necesaria en el punto exacto donde se requiere, pero el resto del equipo permanece fresco. Ya no hay riesgo de dañar la superficie del equipo.
Pero no se puede simplemente usar cualquier tipo de cable. Si se utiliza PVC convencional, este se agrietará o se derretirá en cuestión de semanas. Simplemente no está diseñado para soportar esas altas temperaturas. Por eso, utilizamos cables recubiertos de teflón (PTFE). Este material puede soportar esos picos de temperatura extremos y no se daña cuando entran en contacto con productos químicos. Incluso bajo la radiación infrarroja, mantiene su flexibilidad y cumple con su función.
Aun así, hay que ser cuidadoso con la disposición de los cables. Incluso el teflón tiene sus límites. Si un cable toca accidentalmente el revestimiento de cuarzo de una lámpara mientras está en funcionamiento, todo se arruina. Hay que planificar bien la disposición de los cables para que ninguno quede directamente en línea de fuego.
Cuando se logra ajustar adecuadamente los elementos de protección y reflexión, el calor va exactamente a donde se quiere. Así, el sistema de climatización de la planta puede descansar finalmente, y ya no hay que lidiar con esas “paredes calientes” que dificultan el funcionamiento de muchos equipos.