Hören Sie auf, Ihre MEMS-Geräte in „Öfen“ zu verwandeln! Wenn Sie schon einmal einen herkömmlichen Konvektionsheizer zur Trocknung von Wafern...

Man kann sehen, wie die Wafer aus dem Endspülvorgang herauskommen – und man weiß sofort, was als Nächstes passiert: Die Uhr beginnt zu ticken, sobald...

Wir haben diesen Trockner entwickelt, nachdem wir immer wieder das gleiche Problem festgestellt haben: Die gewaschene Wäsche verlor nach dem Waschen...

On der OLED-Linie gibt es keine Margen. Ein Softbake, das auch nur um 1°C abweicht, verschiebt das Photoresist-Profil. Ein Hartbake ohne...