Ersatzheizer von Lam Research

Wed, 24 Jun 2026 01:00:11 +0800

In den Fertigungsräumen ist eine Temperaturschwankung in einer Lam Research-Kammer keine Kleinigkeit. Sie beeinträchtigt direkt die Steuerung des CD-Verfahrens, das Profil des Fotoleitmers sowie die Gesamtqualität der hergestellten Produkte. Wenn der Heizer anfängt, unregelmäßig zu funktionieren, ändern sich auch die Temperaturen während des Weichbrennvorgangs und des Härtebrennvorgangs. Dadurch wird das thermische Gleichgewicht auf der Waferoberfläche gestört. Deshalb muss die Ersatzkomponente ein genaues thermisches Verhalten gewährleisten – und nicht einfach nur eingebaut werden.

Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln die Ersatzheizungen für Lam Research so, dass eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1 °C über den gesamten Prozessablauf hinweg gewährleistet wird. Dadurch bleibt die Leistung des Fotoleitmers konstant. Man kann dabei zwischen Halogen-, Kurzwellen-, Mittelwellen- oder NIR-Heizelementen wählen, je nachdem, welche thermischen Eigenschaften die Kammer hat. Dadurch können Überhitzungen und Kaltstellen vermieden werden. Die Komponenten bestehen aus hochreinem Quarz und verwenden geeignete Dichtungen, damit sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden können. Zudem wird durch kontinuierliches Monitoring keine Partikelbildung verursacht. Die elektrischen Anschlüsse sind auf die richtige Spannung, Leistungsdichte und Steckertyp eingestellt, sodass die Komponente nahtlos in die Kontrollsysteme der Originalausrüstung integriert werden kann.

Lam on Cozy Infrared Heating Solutions

Ersatzheizer von Lam Research