http://ir-heater-cozy.com/de/tags/axcelis/ Recent content in Axcelis on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo de Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800 http://ir-heater-cozy.com/de/posts/axcelis-heater-element-spare/ Sat, 27 Jun 2026 01:27:33 +0800 http://ir-heater-cozy.com/de/posts/axcelis-heater-element-spare/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Ersatzheizelement für Axcelis"></p> <p>Am Boden – 24/7 – kann die Anlage keinen Temperaturausfall ertragen. Sobald ein Heizelement nicht mehr richtig funktioniert, liegen die Temperaturen bei der Weichbrenn- und Härtebrennung bereits außerhalb der zulässigen Grenzen. Die Toleranzen bei der Lithographie verschlechtern sich dadurch. Die Wafer müssen dann weggeworfen werden. Der Zeitplan gerät ins Stocken. Wir setzen daher ein Ersatzheizelement von Axcelis ein, um diesen Problemen von vornherein entgegenzuwirken.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Dieses Heizelement sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche – die Temperatur bleibt dabei innerhalb von ±0,1°C am gewünschten Wert. Die Konstruktion aus Quarz sowie die Reaktion auf kurzwelliges Infrarotlicht ermöglichen eine schnelle, wiederholbare Erhitzung mit minimalem Überschuss – genau das, was benötigt wird, um bei anspruchsvollen Photoresist-Schichten eine stabile Temperatur zu gewährleisten. Das Heizelement ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet, erzeugt keine Partikel und hält auch intensiven Reinigungsprozessen stand. Es hat eine lange Lebensdauer: über 5.000 Stunden bei normaler Belastung, wobei die Leistungstoleranzen unter 5% liegen.</p>