Dopant Aktivierung mit Infrarotheizer

Sun, 28 Jun 2026 01:26:04 +0800

In der Fertigungshalle führen thermische Schwankungen bei der Aktivierung der Dotierstoffe sowie bei den Prozessen des Weich- und Hartbrennens nicht nur dazu, dass die Ausbeute abnimmt – sie vernichten sie sogar ganz. Wir haben unseren Infrarotheizer für die Aktivierung der Dotierstoffe so konstruiert, dass er die Temperatur genau dort hält, wo sie im Prozess wirklich benötigt wird – und nicht dort, wo sich die Temperatur durch andere Faktoren verschiebt.

Was technisch wichtig ist:
Unser Kurzwellen-Infrarotstrahler heizt schnell und direkt – mit einer Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C. Dadurch bleiben die Aktivierungsprofile stabil und die Bedingungen während des Weich- und Hartbrennens konstant. Das Quarz-Halogen-Modul sorgt zudem für eine genaue Kontrolle des Spektrums – dadurch kann man die gewünschte Temperatur schnell erreichen, ohne dass der Energieverbrauch zu hoch wird.

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Dopant Aktivierung mit Infrarotheizer