Vakuum on Cozy Infrared Heating Solutions

Infrarotní ohřívač kompatibilní s vakuem

Thu, 23 Jul 2026 09:32:46 +0800

Udržování bezpečnosti při použití infračervených topných zařízení v prostředí s hořlavými chemikáliemi
Pokud používáte infračervená topná zařízení v linkách na chemické čištění, určitě znáte ty problémy. V takovém prostředí se vznášejí těkavé páry a vakuumový tlak působí na všechno kolem. V takových podmínkách není běžná lampa vhodnou volbou – spíše představuje riziko.

Proto stavíme naše infračervená topná zařízení kompatibilní s vakuyem pomocí speciálního typu obalové vrstvy. Cílem je zajistit, aby se nic nezapálilo a nic selhalo právě v okamžiku, kdy to nejméně očekáváte.

Výroba topného proužku do vakuumové trouby

Tue, 07 Jul 2026 00:09:01 +0800

Krutá pravda o topných elementech v vakuumových troubách
Pojďme rovnou k věci. Vnitřek vakuumové trouby není pro topný element vůbec příznivým prostředím – jedná se o drsné a nesnislivé podmínky.

Naše topné elementy jsou navrženy tak, aby fungovaly i pod tlakem – doslova. Musí poskytovat stálé a spolehlivé vytápění den za dnem, bez jakýchkoliv problémů. Žádné uvolňování plynů, žádné nečekané selhání. To je standard, který si stanovujeme.

Proto nešetříme. Používáme nejkvalitnější křemík a vysokopečnostní wolframová vlákna. Není to žádný marketingový trik – jedná se o minimální požadavky pro dosažení téže spolehlivosti jako u velkých mezinárodních značek.

Infrazářič vakuové komory

Mon, 08 Jun 2026 02:38:56 +0800

Na výrobní hale stačí odchylka 0,5 °C během pečení fotoresistu k tomu, aby cíle kritických rozměrů (CD) byly mimo toleranci a začal klesat výtěžek. Infračervená topidla ve vakuové komoře slouží k eliminaci této variability během soft bake a hard bake – kroků, kde je teplotní rozpočet nepřekročitelný.

Co je důležité pod povrchem Krátkovlnné infračervené záření zasáhne rychle povrch waferu a komory, přenáší teplo přímo a minimalizuje časový posun teploty. Cílíme na uniformitu mezi wafery ±0,1 °C v rámci procesního okna a opakovatelnost nastavení zůstává stabilní lot po lotu. Tělo topidla je konstruováno pro použití v cleanroomu třídy 1–100, z materiálů s nízkým vývarem a povrchem minimalizujícím tvorbu částic na co nejnižší úroveň. Ve vakuu je teplota stabilní i při změnách tlaku a složení plynů, takže vrstvy litografie a leptu mají konzistentní teplotní historii.