http://ir-heater-cozy.com/cs/tags/p%C5%99%C3%ADsp%C4%9Bvek/ Recent content in Příspěvek on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo cs Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:51:13 +0800 http://ir-heater-cozy.com/cs/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Topné těleso pro postexpoziční vypalování (PEB)"></p> <p>Na lithografické lince se kontrola šířky čáry vyhrává nebo prohrává při post-exposure bake (PEB). Posun teploty o pouhé dva stupně nebo nerovnoměrnost po celé ploše waferu znamená odchylky CD a odpad. Naše PEB topné tělesa jsme navrhli tak, aby tuto proměnlivost eliminovala.</p> <p><strong>Co je důležité pod povrchem</strong><br> Hovoříme o uniformitě teploty na úrovni waferu ±0,1 °C přes celou pečící plochu a přesnosti teploty fotoresistu, která zůstává v rámci přísného tepelného rozpočtu, který váš proces vyžaduje. Konstrukce využívá krátkovlnné infračervené (IR) prvky pro rychlý a čistý přenos energie, což umožňuje rychlé nárůsty teploty bez přehřátí.</p>