http://ir-heater-cozy.com/cs/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Cozy Infrared Heating Solutions Hugo cs Mon, 08 Jun 2026 02:38:56 +0800 http://ir-heater-cozy.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Mon, 08 Jun 2026 02:38:56 +0800 http://ir-heater-cozy.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heater-cozy.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Infrazářič vakuové komory"></p> <p>Na výrobní hale stačí odchylka 0,5 °C během pečení fotoresistu k tomu, aby cíle kritických rozměrů (CD) byly mimo toleranci a začal klesat výtěžek. Infračervená topidla ve vakuové komoře slouží k eliminaci této variability během soft bake a hard bake – kroků, kde je teplotní rozpočet nepřekročitelný.</p> <p><strong>Co je důležité pod povrchem</strong> Krátkovlnné infračervené záření zasáhne rychle povrch waferu a komory, přenáší <a href="https://o-yate.com">teplo</a> přímo a minimalizuje časový posun teploty. Cílíme na uniformitu mezi wafery ±0,1 °C v rámci procesního okna a opakovatelnost nastavení zůstává stabilní lot po lotu. Tělo topidla je konstruováno pro použití v cleanroomu třídy 1–100, z materiálů s nízkým vývarem a povrchem minimalizujícím tvorbu částic na co nejnižší úroveň. Ve vakuu je teplota stabilní i při změnách tlaku a složení plynů, takže vrstvy litografie a <a href="https://henruite.com">leptu</a> mají konzistentní teplotní historii.</p>