Odstranění ozónu při zahřívání polovodičů
Výroba polovodičů vyžaduje přesné řízení teploty. Ale po dlouhou dobu jsme měli problém: tradiční metody zahřevu mají tendenci ztrácet energii a vylučovat ozón. Aby se s tím bojovalo, musely továrny používat velmi náročné systémy na čištění ovzduší, aby bylo bezpečné.
Našli jsme lepší způsob. Pomocí infračervených lamp, které vyhýbají se vlnové délce 185 nm, zabráníme rozpadu molekul kyslíku. Jednoduše řečeno: žádný ozón. Problém eliminujeme hned od zdroje, místo abychom se ho snažili potom odstranit.
Ušetření energie (a vaší duševní pohody)
Pokud se snažíte dosáhnout cílů „zelené továrny“, vše záleží na tom, kolik kilowatthodin spotřebujete na jeden čip.
Naše infračervené systémy využívají přímé záření tepla. Nepřijde tak energie zmarněna na ohřev celého prostoru v komoře – teplo působí přímo na substrát. To je opravdu velký rozdíl oproti starým konvekčním troubám, které vydávají teplo všude kolem.
Kromě toho tyto lampy dosahují požadované teploty během sekund. Už nemusíte čekat na dlouhé doby ohřevu, zatímco spotřeba energie stále roste.
Realita
Tohle není žádný kouzelný proutek. Vysokointenzivní infračervené záření vytváří hodně koncentrovaného tepla.
Pokud chcete zajistit extrémně rychlé zahřívání, musíte se ujistit, že vaše chladicí systémy to dokážou zvládnout. Jinak riskujete přehřátí celého zařízení. Obvykle doporučujeme použít spolu s těmito systémy regulátory PID. Ty udržují energii pod kontrolou a zabrání překročení teploty.
Svěží vzduch v čisté místnosti
Nejlepší věc se děje v systému větrání. Když přestanete vyrábět ozón, nemusíte zvyšovat rychlost ventilace jen proto, abyste odstranili toxické plyny. Vaše jednotky na zpracování vzduchu mohou konečně odpočívat. Menší spotřeba energie znamená menší uhlíkovou stopu.
Pro inženýry na provozu je to prostá výměna – dostanou čistší proces bez nutnosti instalování složitých chemických čisticích systémů. Prostě to funguje.