Chytřejší způsob ohřevu senzorů vodíku
Výroba senzorů vodíku vyžaduje přesnost. Je potřeba, aby teplota byla přesně taková, aby tenké vrstvy adherovaly a katalyzátory skutečně fungovaly. Pokud však stále používáte staré rezistivní trouby, v podstatě platíte za ohřev celé místnosti jen proto, abyste zahřáli malý kousek materiálu. Je to plýtvání.
Proto jsme přešli na krátkovlnné infračervené lampy. Místo ohřevu vzduchu směřujeme teplo přímo na substrát. Jedná se o jednoduchou změnu, ale výrazně snižuje náklady na energii a pomáhá tak dosáhnout těch „uhlíkově neutrálních“ cílů.
Rychlost a teplota
Nejlepší na tom je, že je to rychlé – opravdu velmi rychlé. Jelikož infračervené lampy přeměňují elektřinu na zářivou energii, neexistuje žádný prostředník. Teplo působí přímo na materiál. Mluvíme o dosažení požadovaných teplot během sekund, ne minut.
A protože teplo zůstává zaměřeno na senzor, zbytek stroje zůstává chladný. Váš systém pro regulaci teploty nemusí bojovat s problémy spojenými s udržováním chladu v místnosti, a vaše chladicí voda nemusí pracovat tak intenzivně.
Podrobnosti
Používáme vysoce čisté křemičité obaly, abychom zajistili čistotu – což je pro prostředí čisté místnosti nezbytné. Také upravujeme vlákna tak, aby světlo odpovídalo tomu, co senzorové materiály dokážou pohltit.
Nemůžete prostě zvýšit výkon na 100 %, abyste ušetřili pár sekund. Pokud to uděláte, poškodíte substrát a zničíte součástku. Používáme řídicí obvod typu PID, abychom udrželi stabilitu a zabránili nadměrnému zahřátí. Jde o rovnováhu mezi výkonem a trpělivostí.
Oplatí se to vůbec?
V podstatě ano. Přestanete ztrácet energii během těch „nekonstantních“ období, která snižují efektivitu konvekčních troub. Uvidíte, že spotřeba energie na jednotku klesne téměř okamžitě.
Tento systém může nahradit starší termické jednotky, takže nemusíte nic demontovat. Samozřejmě počáteční náklady na infračervené zdroje energie jsou trochu vyšší, a musíte pečlivě zvolit místo umístění lamp. Ale jakmile správně určíte vzdálenost mezi lampou a waferem, úspory začnou přicházet.