半导体洁净室推车式加热器

为什么在半导体加工中我们放弃热风加热而选择红外线加热呢？ 如果你曾经在半导体加工现场工作过，就会明白等待的时间有多漫长。使用热风循环加热的方式，就好比用走廊里的暖气器来为整个房间供暖。先加热空气，再让空气去加热载具，最后才能让晶圆变暖。这个过程极其缓慢。 而红外线加热则完全不同。它不需要通过空气来...