真空室红外加热器

在生产车间，光刻胶烘烤过程中0.5°C的漂移就足以影响关键尺寸（CD）目标并开始降低良率。真空室红外加热器的存在是为了消除软烘烤和硬烘烤过程中的这种变异——这些步骤的热预算是绝对不可妥协的。 底层的重要性 短波红外线迅速照射到晶圆和腔体表面，直接耦合热量，减少热滞后。我们的目标是在工艺窗口内实现...