Ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn wafer trong quá trình rửa ở mức công suất cao
Hãy cùng xem xét tình huống tồi tệ nhất trong quá trình sấy khô các linh kiện bán dẫn: việc bóng đèn hồng ngoại bị vỡ. Nếu bóng đèn vỡ trong lúc bạn đang vận hành máy ở mức công suất cao, thì bạn không chỉ phải đối mặt với việc bóng đèn bị hỏng mà còn phải đối mặt với những mảnh thủy tinh và chất hóa học rơi xuống các wafer. Điều này sẽ gây ra thiệt hại nghiêm trọng cho toàn bộ lô sản phẩm. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Vấn đề liên quan đến sốc nhiệt
Khi bạn muốn tăng công suất sản xuất, bạn cần nhiệt lượng lớn – và cần nó ngay lập tức. Nhưng vấn đề là: khi nước lạnh bắn vào ống thủy tinh nóng bỏng, nhiệt độ sẽ thay đổi một cách đột ngột. Các loại bóng đèn thông thường không thể chịu đựng được áp lực như vậy; chúng sẽ bị vỡ. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng ống thủy tinh có thành dày. Chúng tôi cũng thêm vào các chi tiết chống thấm nước ở hai đầu ống. Điều này giúp ngăn chặn độ ẩm xâm nhập vào bên trong ống, vốn là nguyên nhân gây ra hiện tượng chập điện hoặc sợi dây tóc bóng đèn bị cháy sớm.
Tạo ra “lớp bảo vệ”
Chúng tôi không chỉ hy vọng rằng bóng đèn sẽ không bị hỏng. Chúng tôi bọc bóng đèn trong một lớp vỏ bảo vệ – một lớp thủy tinh kín. Điều này giống như một rào cản vật lý. Nếu bộ phận gia nhiệt bên trong bị hỏng, lớp vỏ bên ngoài sẽ giữ lại mọi thứ. Như vậy, các wafer vẫn được giữ sạch sẽ. Đây là cách đơn giản để đảm bảo rằng việc bóng đèn bị hỏng không dẫn đến việc sản xuất bị gián đoạn.
Những điểm cần lưu ý (và cách khắc phục chúng)
Việc thêm lớp thủy tinh bảo vệ sẽ khiến một phần ánh sáng hồng ngoại bị chặn lại. Bạn sẽ không nhận được cường độ ánh sáng như khi chỉ sử dụng ống thủy tinh thông thường. Nhưng điều này có thể dễ dàng khắc phục bằng cách tăng công suất của bóng đèn lên. Lưu ý rằng bạn cần kiểm tra xem nguồn điện của mình có đủ khả năng chịu đựng công suất cao hay không, để tránh tình trạng thời gian vận hành bị ảnh hưởng.
Một mẹo cuối cùng: hãy sử dụng hệ thống điều khiển PID chính xác. Nếu bạn chỉ bật/tắt nguồn điện một cách ngẫu nhiên mà không có quy trình giảm dần công suất, thì sợi dây tóc bóng đèn sẽ bị hỏng. Dù lớp chống thấm có tốt đến đâu, thì quy luật vật lý vẫn sẽ khiến sợi dây tóc bóng đèn bị hỏng.