Trên sàn nhà, 24/7, nhà máy không thể chịu đựng được bất kỳ sự cố nhiệt độ nào. Chỉ cần một trong các bộ phận sưởi bắt đầu hoạt động không ổn định, thì nhiệt độ sấy cũng sẽ không còn nằm trong giới hạn cho phép nữa. Điều này dẫn đến việc các tấm wafer bị hỏng, lịch trình sản xuất bị trì hoãn. Chúng tôi sử dụng bộ phận sưởi dự phòng của Axcelis để ngăn chặn tình trạng này ngay từ đầu.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ phận sưởi này được thiết kế để đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C so với mức đã được thiết lập. Cấu trúc bằng thạch anh và khả năng phản ứng với tia hồng ngoại ngắn sóng giúp việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng và chính xác – điều cực kỳ cần thiết để kiểm soát nhiệt độ trong quá trình sản xuất các lớp phủ quang học phức tạp. Bộ phận này phù hợp sử dụng trong môi trường sạch loại 1–100; nó không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, và bề mặt của nó vẫn giữ được tính ổn định ngay cả sau khi được làm sạch bằng các chất tẩy rửa mạnh. Thời gian sử dụng của bộ phận này có thể lên đến 5.000 giờ, với độ lệch nhiệt độ dưới 5%.
Tại sao bộ phận này lại phù hợp để sử dụng trong quy trình in ấn quang học
Trong quy trình in ấn quang học với khối lượng lớn, yếu tố quan trọng nhất chính là việc tránh mọi sự cố đáng kể xảy ra trong quá trình sản xuất. Bộ phận sưởi dự phòng này giúp đảm bảo tính nhất quán trong quá trình sấy, thereby tránh được sự thay đổi nhiệt độ gây ra bởi các chu kỳ nhiệt độ. Kết quả là, quá trình sấy diễn ra ổn định hơn, số lượng sản phẩm phải được sửa chữa giảm đi, và mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm xuống nhờ vào khả năng truyền nhiệt hiệu quả. Chỉ cần lắp đặt bộ phận này và thay thế nó khi cần thiết, bạn sẽ có thể tiếp tục hoạt động mà không gặp bất kỳ vấn đề gì.
Những điều cần lưu ý
Hãy đảm bảo rằng bộ phận sưởi này phù hợp với từng phiên bản máy của Axcelis, cùng với công suất, điện áp và giao diện kết nối phù hợp. Nếu độ chính xác trong việc lắp đặt không đạt yêu cầu, thì sự đồng đều về nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng, và tuổi thọ của bộ phận sưởi cũng sẽ giảm. Sau khi lắp đặt, hãy kiểm tra lại mức nhiệt trong buồng sấy, cũng như vị trí của cảm biến nhiệt độ so với bộ phận sưởi. Ngay cả một sự lệch nhỏ cũng có thể khiến nhiệt độ vượt qua giới hạn cho phép.