دیکھیں کہ ویفر پانی سے باہر نکلتا ہے، اور اب آپ جانتے ہیں کہ اگلا مرحلہ کیا ہے… جیسے ہی ویفر پانی سے باہر نکلتا ہے، ٹائمر شروع ہو جاتا ہے۔ روایتی خشک کرنے کے طریقوں میں سطح پر 0.5°C کا فرق بھی مشکلات کا سبب بن سکتا ہے؛ اس سے جلد کی سطح پر دباؤ پیدا ہوتا ہے، فوٹوریزسٹ میں خرابیاں پیدا ہوتی ہیں، اور چھوٹے ذرات بھی جم سکتے ہیں۔ ہم نے اپنے انتہائی درستگی والے خشک کرنے کے نظام کو ایک مخصوص معیار کے حساب سے تیار کیا ہے: ہر چکر میں پورے ویفر پر ±0.1°C کی یکسانیت۔
اس نظام کی اہمیت
اس نظام کا بنیادی حصہ ایک صاف کمرہ مناسب، بغیر ذرات والا تھرمل ماڈیول ہے؛ یہ چک اور ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی یکسانیت برقرار رکھتا ہے۔ بند لوپ کنٹرول، اعلیٰ ریزولوشن والے سینسروں اور کم توربولنس والے ہوا کے بہاؤ کے ذریعے کام کرتا ہے؛ اس سے گرم نقاط اور سرد کنارے ختم ہو جاتے ہیں۔ اس طرح درجہ حرارت کی قیمتیں مستقل رہتی ہیں، اور فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے دوران کوئی خرابی نہیں ہوتی۔ ہم توانائی کی پیمائش بھی حقیقی وقت میں کرتے ہیں، تاکہ آپ ہر بیچ، ہر آلے، ہر شفٹ کے لئے توانائی کی مقدار جان سکیں۔
لیتھوگرافی اور ریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی اہمیت
درجہ حرارت کی یکسانیت، کریٹکل ڈائمینشن کنٹرول اور پروڈکشن کی کارکردگی کے لئے بہت اہم ہے۔ اگر ویفر کی سطح درست رہے، تو دوبارہ پروسیسنگ اور فضلہ کم ہو جاتا ہے۔ توانائی کی پیمائش سے آپ کو معلوم ہوتا ہے کہ ہر بیچ میں کتنی توانائی استعمال ہو رہی ہے، اور اس سے آپ بہتر فیصلے کر سکتے ہیں۔
کچھ عملی نکات
اس ماڈیول کے لئے کلاس 1–100 کے صاف کمرے کی ضرورت ہے، اور یہ معیاری انٹرفیسوں کے ذریعے آپ کے موجودہ پروسیس کنٹرولروں سے جڑ جاتا ہے۔ پروسیس کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ ایک پابندی یہ ہے کہ اتنی یکسانیت کی وجہ سے ماحولیاتی تغیرات کے لئے کم گنجائش باقی رہتی ہے، لہذا ماحول کو مستحکم رکھنا ضروری ہے۔
نتیجہ
اس نظام کی بدولت پروسیس کی تکراریت برقرار رہتی ہے، اور توانائی کی پیمائش سے آپ کو بہتر فیصلے کرنے میں مدد ملتی ہے۔