فیکٹری میں، ڈوپنٹس کی سرگرمی، فوٹوریزسٹ کے نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات، پیداواری صلاحیت کو نہ صرف متأثر کرتے ہیں، بلکہ اسے مکمل طور پر ختم بھی کر دیتے ہیں۔ ہم نے اپنے ڈوپنٹس کی سرگرمی کے لئے انفرا ریڈ ہیٹر تیار کیا ہے؛ تاکہ درجہ حرارت اس سطح پر رہے جہاں اس عمل کے لئے ضروری ہے، نہ کہ اس سطح پر جہاں چیمبر کا درجہ حرارت تبدیل ہوتا رہتا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہمارا شارٹ-ویو انفرا ریڈ ایمیٹر تیزی سے اور براہِ راست حرارت پیدا کرتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ اس سے ڈوپنٹس کی سرگرمی میں استحکام پیدا ہوتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کے بیکنگ عمل میں یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ کوارٹز-ہیلوجن ماڈیول سے رنگین روشنی کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے، تاکہ درجہ حرارت جلدی ہی مطلوبہ سطح پر پہنچ جائے، اور حرارتی خرچ بھی کم رہے۔
کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق، کم گیسیں پیدا کرنے والے مواد، بند جوڑے، اور ذرات سے بچنے والی ساختیں استعمال کی گئی ہیں؛ تاکہ لیتھوگرافی کے عمل میں کسی قسم کی خرابی نہ ہو۔ بار بار عمل کرنے سے بھی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
فیکٹری میں اس کی اہمیت
عملی طور پر، نرم بیکنگ سے حل کارکردگی بہتر ہوتی ہے، جبکہ سخت بیکنگ سے کوئی مسائل پیدا نہیں ہوتے۔ ڈوپنٹس کی سرگرمی میں استحکام پیدا ہوتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور انرجی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ یہ یونٹ 24/7 کام کر سکتا ہے؛ کوئی گرم نقاط یا سرد شروعات نہیں ہوتی۔
جن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے
انسٹالیشن کے دوران، ہیٹر کو چیمبر کے آپٹیکل پاتھ اور کولنگ سسٹم کے ساتھ ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ ریفلیکٹر کی سیدھ میں رکھنا اور کولنٹ فلو کی جانچ بھی ضروری ہے۔
یکسانیت حاصل کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔ طویل مدتی کاموں کے لئے ±0.1°C کی حد کو برقرار رکھنے کے لئے باقاعدگی سے کیلیبریشن ضروری ہے۔