Подивіться, як віфер виходить з процедури остаточного промивання. Ви одразу розумієте, що буде далі – таймер починає відлік з моменту, коли віфер залишає воду. Звичайне сушіння, при якому є навіть незначні відхилення у 0,5°C на поверхні віфера, може спричинити напругу в шарі шкірки, дефекти фотолаку та утворення частинок, які прилипають до поверхні. Наша система ультрапрецизійного сушіння базується на одному ключовому показнику: єднаковість температури ±0,1°C на всій поверхні віфера під час кожного циклу.
Що є важливим у цій системі
Основою є тепловий модуль, сумісний із чистими приміщеннями та без частинок, який забезпечує єднакість температури ±0,1°C на всій поверхні віфера. Контроль у закритому циклі здійснюється за допомогою високороздільних датчиків та системи потоку повітря з мінімальними турбулентностями, що дозволяє уникнути „гарячих точок“ та „холодних країв“. Це забезпечує стабільні температурні параметри, які залишаються в межах необхідних значень під час процесу сушіння. Крім того, ми відстежуємо споживану енергію в реальному часі, що дозволяє контролювати витрати енергії на кожну партію продукції, на кожен пристрій та на кожну зміну.
Чому це важливо для літографії та обробки фотолаку
Єднакість температури є ключовим фактором для контролю критичних розмірів та якості продукції. Якщо поверхня віфера залишається в заданих параметрах, можна скоротити кількість необхідних корекцій та відходів. Аналіз споживаної енергії дозволяє знайти способи її скорочення без порушення стабільності температури. Результатом є менше частинок на поверхні віфера, стабільна ширина ліній та зменшення витрат енергії на один віфер.
Кілька практичних порад
Модуль потребує електропостачання та системи відведення повітря, відповідних стандартам чистих приміщень класу 1–100. Він підключається до існуючих пристроїв керування через стандартні інтерфейси. Необхідно виділити час на налаштування параметрів сушіння відповідно до особливостей вашого фотолаку. Однак є одна обмеження: така висока стабільність температури зменшує можливості для коливань температури навколишнього середовища, тож необхідно підтримувати стабільні умови в приміщенні.
Результат
Це забезпечує повторюваність процесу та можливість контролю витрат енергії.