На поверхні підлоги, 24/7, установка не може впоратися з жодними тепловими порушеннями. Як тільки один з елементів опалення починає працювати некоректно, температура під час процесу випалювання стає нестандартною. Толеранції при літографії порушуються, пластини йдуть на звалище. Графік виробництва порушується. Ми використовуємо запасні елементи опалення Axcelis, щоб запобігти таким проблемам на самому початку.
Що є важливим з технічної точки зору
Цей елемент розроблений для забезпечення теплової однорідності на рівні пластини, що дозволяє підтримувати температуру в межах ±0,1°C від заданого значення. Кварцова конструкція та можливість використання короткохвильового інфрачервоного випромінювання забезпечують швидке та точне контролювання температури з мінімальними відхиленнями – саме це необхідно для ефективного контролю температури під час процесу літографії. Елемент підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; не створює жодних частинок, а його поверхня витримує агресивну обробку розчинниками. Очікуваний термін служби – понад 5 000 годин при нормальних умовах роботи, з відхиленням температури менше 5%.
Чому цей елемент підходить для використання в літографічних установках
У процесі масової літографії єдиним прийнятним параметром надійності є відсутність незапланованих перерв у роботі. Цей запасний елемент забезпечує стабільність процесу випалювання, тож не виникає відхилень температури, що може призвести до проблем з якістю продукції. Це дозволяє отримувати стабільні результати процесу випалювання, менше необхідності в переробці продукції та меншу витрату енергії завдяки ефективному контролю температури. Просто встановіть елемент, замініть його при необхідності – без жодних налаштувань та несподіванок.
На що потрібно звернути увагу
Елемент потрібно підбирати відповідно до конкретної версії пристрою Axcelis, потужності, напруги та типу роз’єму. Якщо толеранції при монтажі не дотримуються, це погіршує однорідність температури та скорочує термін служби елемента. Після встановлення необхідно перевірити параметри температури в камері випалювання та правильність розташування датчика температури відносно елемента. Навіть невелике відхилення може призвести до порушення параметрів процесу випалювання.