Yüksek yük altındaki durulama işlemlerinde waferlerin kirlenmesini engelleme
Yarı iletkenlerin kurutulması sırasında karşılaşılabilecek en kötü senaryoyu ele alalım: IR lambasının patlaması. Eğer yüksek yükte bir işlem sırasında lamba patlarsa, sadece bozuk bir ampulle uğraşmak zorunda kalmazsınız; aynı zamanda cam parçaları ve kimyasal maddeler de waferlerin üzerine düşer. Bu durum, üretim süreci için ciddi bir felaket anlamına gelir. Bunu nasıl önleyebileceğimizi bulmak için çok zaman harcadık.
Termal şok sorunu
Yüksek üretim hızlarına ulaşmak için ısıya ihtiyaç vardır – ve bu ısının hızlı bir şekilde elde edilmesi gerekiyor. Ancak sorun şu ki, soğuk durulama suyu son derece sıcak olan kuvars tüpün üzerine döküldüğünde sıcaklık dalgalanmaları çok büyük olur. Standart lambalar bu tür baskılara dayanamaz ve kırılır. Bu sorunu çözmek için kalın duvarlı kuvars kullanıyoruz. Ayrıca, lambanın uç kısımlarına özel su geçirmez kapaklar ekliyoruz. Böylece nemin lambanın içine sızmasını engelleriz; bu da genellikle elektrik arızalarına veya filamentlerin erken yanmasına neden olur.
Güvenlik önlemleri
Lambanın sağlam kalmasını ummak yeterli değildir. Lambayı koruyucu bir kılıfın içine yerleştiriyoruz. Bu, fiziksel bir bariyer görevi görür. Eğer içteki ısıtma elemanı bozulup parçalanırsa, dış kılıf her şeyi tutar. Böylece waferler temiz kalır. Bu, bozulan bir lambanın üretim sürecini bozmamasını sağlayan basit bir yöntemdir.
Tavizler ve bunlarla nasıl başa çıkılır
Elbette, ekstra kuvars katmanı eklemek, IR ışığının bir kısmının engellenmesine neden olur. “Sadece tüp” modelindeki yoğunluğu elde edemezsiniz. Ancak bu sorun kolayca çözülür. Gereken gücü artırarak hızlı bir şekilde ısınmayı sağlayabilirsiniz. Unutmayın ki, güç kaynağınızın bu ekstra yükü karşılayabileceğinden emin olmalısınız; aksi takdirde üretim süreleri etkilenebilir. Bir diğer ipucu ise hassas PID kontrolü kullanmaktır. Eğer gücü doğru şekilde ayarlamadan açıp kapalarsanız, filamentler zarar görür. Kılıfın ne kadar su geçirmez olduğu önemli değildir; ısı fizik kuralları yine de etkisini gösterecektir.