OLED hattında hiçbir marjınız yok. 1°C’lik bir kayma bile fotoresist profilini kaydırır. Eşitliği olmayan bir hard bake, verimliliği yavaşça azaltır. Ve 7×24 çalışan bir fabrikada, kuruma adımı bir ara verme değildir. Bu, saatlerce sürmesi gereken bir kısıtlamadır.
Teknik Olarak Önemli Olan
OLED üretim kurutma lambasını tekrarlanabilir ısı ve temiz teslimat etrafında inşa ettik. Kısa dalga halojen elemanlar hızlı yanıt ve sıkı termal kontrol sağlar. Kuvars zarfı ve reflektör geometrisi, pişirme bölgesinde ±0.1°C’ye kadar wafer seviyesinde eşitlik sağlar.
Sınıf 1–100 temiz odalarla uyumludur ve tasarım, çalışma sırasında sıfır partikül olayı üretir. Partikül sayımları, filtreleme yükü eklemeden spesifikasyonlarda kalır.
Pratikte Neden İşe Yarar
Lamba, litografi ve fotoresist işleme alanındaki gerçek sorun noktalarına odaklanır: tutarlı soft bake, stabil hard bake ve kritik boyutları kontrol altında tutan öngörülebilir kuruma. OLED katmanlarında, hassas katmanları aşırı ısıtmadan nem ve solventleri tamamen çıkarmanız gerekir.
Bu, daha az yeniden işleme partisi, daha sıkı CD dağılımı ve sizin için küçülmeyen işlem pencereleri anlamına gelir. Üniteler 5,000+ saat çalışır ve %5’ten az çıkış kayması ile çalıştığından, plansız duraklamalar olmadan devam edebilirsiniz.
Bilmeniz Gerekenler
Kurulum, lambayı odanın geometrisi ve hava akışına uydurmaya dayanır. Termal eşitlik, konumlandırma ve koruma ile ilgilidir. Farklı alt tabaka türleri arasında setpoint profilini ayarlamak için kısa bir devreye alma çalışması bekleyin.
Lamba, voltaj ±2% içinde kaldığında en iyi performansı gösterir. Ve her zaman pişirme tarifesini gerçek wafer sıcaklığına kalibre edin, yalnızca setpoint’e değil. Hattı devre dışı bırakmamak için değişimlerinizi önleyici bakım pencereleri etrafında planlayın.