On fab katında, fotoresist pişirme sırasında 0,1°C’lik bir sapma, çizgi genişliğini nanometre mertebesinde kaydırabilir ve saatler süren litografi çalışmalarını boşa çıkarabilir. Yüksek hacimli wafer üretiminde termal tekrarlanabilirlik “iyi olur” değil, süreç gerekliliğidir. Ultra hassas termal sistemlerimizi, her yumuşak pişirme ve sert pişirmeyi, gün be gün, Class 1–100 temiz oda ortamlarında termal bütçe içinde tutacak şekilde tasarladık.
İşte önemli olan detaylar:
Halojensiz ısıtma modüllerimiz, wafer genelinde ±0,1°C durağan durum uniformitesi sağlar ve bu setpoint kararlılığı 7/24 çalışma döngülerinde de korunur. NIR kısa dalga tepki süresi, saniyenin altında ramp kontrolü sunar; böylece termal gecikme azalır ve ince film bütünlüğü korunur. Temiz oda uyumlu malzemeler ve sıfır partikül üretimi, kontaminasyon oranlarını düşük tutar; sistem SEMI güvenlik ve EHS gereksinimlerini karşılar. Enerji tüketimi, pik talebe değil, proses penceresine göre ayarlanır; böylece sıcaklık doğruluğundan ödün vermeden kilovat-saat başına daha fazla pişirme yapılabilir.
Litografide, fotoresist işlemi verimin kazanıldığı veya kaybedildiği aşamadır.
Yumuşak pişirmede çözücü uzaklaştırmayı tutarlı, sert pişirmede yapışmayı tekrarlanabilir tutarız; böylece kritik boyut kontrolü spesifikasyon içinde kalır. Sonuç: daha az tekrar işleme partisi, daha sıkı CD dağılımı ve planlanabilir çevrim süreleri. Paketleme hatları için aynı termal kararlılık, güvenilir kürlenme ve bağ bütünlüğü anlamına gelir—daha az hurda wafer ve daha az plansız duruş. Küresel tedarik zinciri entegrasyonu, sistemin mevcut fab altyapısına kolayca entegre olmasını sağlar; büyük ekipman ayak izlerine ve ara yüzlere uyum sağlar.
İmzalamadan önce birkaç pratik not:
Yüksek doğruluk disiplinli kurulum gerektirir. Temiz oda sertifikalı güç, topraklama ve egzoz planlayın; reçetenizin ramp oranlarının kontrol cihazının ayar sınırları içinde olduğundan emin olun. Platform sürekli çalışmaya uygun tasarlanmıştır ancak ±0,1°C performansı korumak için 5.000+ saatlik periyotlarla rutin kalibrasyon gereklidir.
Isıtıcıyı oda geometrisi ile eşleştirin—uyumsuz termal kütleler uniformiteyi olumsuz etkiler.