Zeminde, 24/7 çalışan bu ekipmanlar, her türlü termal sorunu kaldıramaz. Bir ısıtıcı eleman arızalanınca, yumuşak ve sert pişirme sıcaklıkları hemen standartların dışına çıkar. Litografi işlemlerindeki toleranslar bozulur; wafeler hurdaya gider. Programlar aksar. Bu durumu önlemek için Axcelis marka yedek ısıtıcı elemanları kullanıyoruz.
Teknik olarak önemli olanlar:
Bu eleman, waferin termal olarak homojen kalmasını sağlayarak, pişirme plakasının ayarlanan sıcaklık değerlerinden ±0.1°C sapmasını engeller. Kuvars yapısı ve kısa dalga kızılötesi özellikleri sayesinde hızlı ve tekrarlanabilir bir ısı artışı sağlanır; bu da ileri düzey fotoresist tabakalarının termal kontrolünü sağlamak için gereklidir. Class 1–100 standardlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; hiçbir parçacık üretmez ve agresif temizlik maddelerine karşı dayanıklıdır. Uzun ömürlüdür: Belirlenen koşullarda 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilik kaybı %5’in altındadır.
Neden litografi ekipmanlarında kullanılır?
Yüksek hacimli litografi işlemlerinde kabul edilebilir tek şey, planlanmamış arızaların olmamasıdır. Bu yedek eleman, yumuşak ve sert pişirme işlemlerinde sürekliliği sağlar; böylece sıcaklık değişikliklerinden dolayı CD ve üst üste binme sorunları ortaya çıkmaz. Sonuç olarak daha stabil pişirme profilleri elde edilir, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve verimli, kontrollü ısı transferi sayesinde enerji tüketimi düşer. Kurulumunu yapın, gerektiğinde değiştirin ve sorunsuz bir şekilde çalışmaya devam edin.
Dikkat edilmesi gerekenler:
Elemanın, Axcelis cihazının modeline, gücüne, voltajına ve konektör arayüzüne uygun olmasına dikkat edin. Eğer bağlantı veya montaj toleransları doğru değilse, homojenlik bozulur ve elemanın ömrü kısalar. Kurulumdan sonra pişirme odasının termal haritasını tekrar kontrol edin ve sıcaklık sensörünün elemanla olan konumunu tekrar doğrulayın. Küçük bir sapma bile fotoresist parametrelerini bozabilir.