หลอดปล่อยอินฟราเรดใกล้ (NIR)

บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในระหว่างการอบฟิล์มฟโต้เรซิสต์หรือการทำให้เวเฟอร์แห้งไม่เพียงแต่ส่งผลต่อการผลิตเท่านั้น...