บนสายการผลิต OLED จะไม่มีมาร์จิ้นเหลือเลย การอบแบบ soft bake ที่เบี่ยงเบนแม้เพียง 1°C จะเปลี่ยนแปลงโปรไฟล์ของ photoresist การอบแบบ hard bake ที่ไม่มีความสม่ำเสมอจะลดผลผลิตอย่างเงียบเชียบ และในโรงงาน 7×24 การทำให้แห้งไม่ใช่ขั้นตอนที่หยุดพัก แต่เป็นข้อจำกัดที่ต้องคงไว้ ชั่วโมงแล้วชั่วโมงเล่า
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราออกแบบโคมไฟอบแห้งสำหรับการผลิต OLED รอบด้านด้วยการส่งผ่านความร้อนและความสะอาดที่ทำซ้ำได้ อิเลเมนต์หลอดฮาโลเจนคลื่นสั้นให้การตอบสนองรวดเร็วและการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด หลอดควอตซ์และรูปทรงรีเฟลกเตอร์รักษาความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วเขตการอบ
โคมไฟเข้ากันได้กับห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 และการออกแบบไม่ก่อให้เกิดฝุ่นในระหว่างการทำงาน จำนวนฝุ่นยังคงอยู่ในสเปคโดยไม่ต้องเพิ่มภาระการกรอง
เหตุผลที่ใช้งานได้จริง
โคมไฟแก้ปัญหาหลักในกระบวนการลิโธกราฟีและ photoresist: การอบ soft bake ที่สม่ำเสมอ การอบ hard bake ที่เสถียร และการทำให้แห้งที่คาดการณ์ได้ซึ่งควบคุมมิติสำคัญได้ ในชั้น OLED จำเป็นต้องดึงความชื้นและตัวทำละลายออกให้หมดโดยไม่ให้ชั้นที่ไวต่อความร้อนเกินอุณหภูมิ
สิ่งนี้ส่งผลให้จำนวนล็อตที่ต้องแก้ไขลดลง การกระจาย CD แน่นขึ้น และหน้าต่างกระบวนการไม่แคบลง หน่วยทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเบี่ยงเบนผลลัพธ์น้อยกว่า 5% ทำให้สามารถเดินเครื่องต่อเนื่องโดยไม่ต้องหยุดโดยไม่คาดคิด
สิ่งที่ต้องรู้
การติดตั้งขึ้นกับการจับคู่โคมไฟกับสัดส่วนของห้องและทิศทางลม ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิขึ้นอยู่กับตำแหน่งและการป้องกัน คาดว่าจะมีการรันสั้น ๆ ในช่วงเริ่มต้นเพื่อตั้งโปรไฟล์จุดตั้งค่าผ่านชนิดวัสดุรองรับ
โคมไฟทำงานได้ดีที่สุดเมื่อแรงดันไฟฟ้าอยู่ภายใน ±2% และต้องสอบเทียบสูตรอบกับอุณหภูมิจริงของเวเฟอร์ ไม่ใช่เพียงแค่จุดตั้งค่า วางแผนการเปลี่ยนตามช่วงเวลาบำรุงรักษาเชิงป้องกันเพื่อไม่ให้ส่งผลกระทบกับสายการผลิต