Смотрите, как пластина выходит из процедуры окончательного промывания – теперь уже ясно, что будет дальше: с момента выхода пластины из воды начинает отсчитываться время. Обычная процедура сушки, при которой температура на поверхности пластины отклоняется хотя бы на 0,5°C, может привести к возникновению напряжений в слоях пластины, дефектам фоторезиста и появлению частиц, которые прилипают к поверхности. Наша ультраточная система сушки разработана с учетом одного ключевого параметра – стабильность температуры в пределах ±0,1°C на всей поверхности пластины в каждом цикле.
Что действительно важно Основой данной системы является термический модуль, совместимый с чистыми помещениями и не содержащий частиц; он обеспечивает стабильность температуры в пределах ±0,1°C на всей поверхности пластины. Система контроля работает на основе высокоточных датчиков и минимизирует возникновение «горячих точек» и «холодных участков». Это позволяет добиться стабильных температурных профилей, соответствующих требованиям процедуры обработки фоторезиста – без перегрева или смещений температуры. Мы также отслеживаем расход энергии в реальном времени, чтобы можно было контролировать расход энергии на каждую партию продукции, на каждый инструмент и за каждую смену.
Вот почему это так важно для процесса литографии и обработки фоторезиста: стабильность температуры определяет точность размеров изделий и его качество. Если сохранять стабильную температуру на поверхности пластины, можно снизить количество бракованных изделий. Анализ расхода энергии позволяет точно контролировать процесс сушки, снижать расход энергии без ущерба для стабильности температуры, а также планировать техническое обслуживание до того, как произойдут смещения температуры. Результатом будет меньше частиц на поверхности пластины, стабильная ширина линий и снижение расхода энергии на единицу продукции.
Несколько практических замечаний. Для работы модуля необходимы условия чистого помещения класса 1–100, а также соединение с системами вентиляции. Модуль может быть подключен к существующим системам управления через стандартные интерфейсы. Необходимо выделить время на настройку параметров в соответствии с характеристиками фоторезиста и процедуры сушки. Однако строгая стабильность температуры ограничивает возможности корректировки из-за колебаний температуры в окружающей среде, поэтому необходимо поддерживать стабильные условия в помещении.
Результатом будет повторяемость процесса, а также возможность точного контроля за расходом энергии, что поможет оптимизировать процесс производства.