Menghentikan Kebimbangan Berkaitan Kontaminasi Wafer
Mari kita jujur: dalam proses pengeluaran yang memerlukan beban tinggi, fikiran tentang kemungkinan lampu inframerah meletup sudah cukup untuk membuat para jurutera berasa cemas sepanjang malam.
Masalahnya bukan sekadar lampu tersebut berhenti berfungsi. Bencana sebenar berlaku apabila tiub kuarsa pecah; serpihan kaca dan bahan kimia akan tersebar di permukaan wafer. Satu letupan saja sudah cukup untuk merosakkan hasil pengeluaran anda.
Itulah sebabnya kami membina sistem IR yang efektif agar “situasi terburuk” tidak berlaku dan merosakkan proses pengeluaran anda.
Titik Keselamatan yang Optimum
Kami tidak hanya mengandaikan di mana lampu harus diletakkan. Kami mempertimbangkan faktor gradien haba. Jika lampu terlalu dekat, haba yang dihasilkan akan terlalu kuat. Ini akan menyebabkan kawasan tertentu pada tiub kuarsa menjadi panas, sehingga tiub tersebut retak.
Oleh itu, kami menciptakan zon penyangga yang tepat antara permukaan lampu dan wafer. Ini memastikan radiasi tersebar secara merata, sehingga tiub kuarsa tidak tertekan, namun kelajuan pemanasan tetap dapat dicapai seperti yang diperlukan.
Menghalang Serpihan Kaca Masuk
Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi untuk meminimumkan pelepasan gas. Namun, itu belum cukup. Kami juga menyarankan penggunaan penghadang fizikal atau rangka pelindung khusus. Ini bertindak sebagai “kandang keselamatan” yang melindungi lampu daripada rosak akibat usia.
Jika tiub kuarsa benar-benar rosak, penghadang tersebut akan menangkap serpihan kaca tersebut. Dengan cara ini, serpihan kaca tidak akan jatuh ke atas wafer anda.
Keseimbangan Antara Prestasi dan Keselamatan
Lebihan kuasa bermakna pemanasan yang lebih cepat. Ini memang bagus untuk memendekkan masa pengeluaran, tetapi ia memberi tekanan yang besar pada tiub kuarsa. Jika anda ingin meningkatkan kuasa lampu untuk memendekkan masa pengeluaran, anda perlu meningkatkan aliran pendinginan pada hujung lampu. Jika elektrod tersebut terlalu panas, penutupnya akan rosak.
Semua ini memerlukan keseimbangan. Kami biasanya mencadangkan agar prestasi pengeluaran diseimbangkan dengan jarak keselamatan yang sesuai. Ini lebih baik daripada berhadapan dengan masa henti yang tidak dijangka dan timbunan wafer yang rosak.