Mengelakkan Kontaminasi Wafer Semasa Proses Pencucian Dengan Beban Tinggi
Mari kita bincangkan situasi buruk yang boleh berlaku semasa proses pengeringan cip semikonduktor: lampu IR yang pecah. Jika lampu tersebut pecah semasa proses pencucian dengan beban tinggi, bukan sahaja mentolnya yang rosak, tetapi serpihan kaca dan bahan kimia juga akan jatuh ke atas wafer tersebut. Ini merupakan bencana bagi proses pengeluaran anda. Kami telah meluangkan banyak masa untuk mencari cara untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku.
Masalah akibat gangguan suhu
Apabila kita ingin meningkatkan kadar pengeluaran, kita memerlukan haba yang banyak, dan ia perlu diperoleh dengan cepat. Namun, masalahnya ialah apabila air sejuk terkena pada tiub kuarsa yang sangat panas, suhunya akan berubah secara drastik. Lampu biasa tidak mampu menahan tekanan seperti ini; ia akan pecah. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan kuarsa yang berdinding tebal. Kami juga menambahkan lapisan penghalang kalis air pada bahagian hujung lampu. Ini dapat menghalang kelembapan daripada masuk ke dalam lampu, yang biasanya menyebabkan litar elektrik terputus atau filamen lampu cepat rosak.
Membina sistem keselamatan
Kami tidak hanya bergantung pada lampu yang tidak rosak. Kami membungkusnya dalam lapisan pelindung berbentuk selubung kuarsa. Ia berfungsi sebagai penghalang fizikal. Jika komponen pemanas di dalam lampu pecah, lapisan luar akan menahan semua serpihan tersebut. Dengan cara ini, substrat akan kekal bersih. Ini merupakan cara mudah untuk memastikan kegagalan lampu tidak akan menyebabkan kegagalan proses pengeluaran.
Kompromi yang perlu dihadapi (dan cara mengatasinya)
Penambahan lapisan kuarsa ini memang akan mengurangkan kekuatan sinar IR yang dipancarkan. Anda tidak akan mendapat intensiti cahaya yang sama seperti lampu biasa. Namun, ini mudah diatasi. Kami hanya perlu meningkatkan kuasa lampu agar ia masih dapat berfungsi dengan baik. Perlu diingatkan bahawa bekalan kuasa perlu cukup kuat untuk menampung beban tambahan ini, supaya masa proses pengeluaran tidak terjejas.
Satu lagi petua: gunakan sistem kawalan PID yang tepat. Jika anda menghidupkan dan mematikan lampu tanpa proses penurunan kuasa yang betul, filamen lampu akan rosak. Tidak kira seberapa baik lapisan penghalang kalis airnya, faktor haba tetap akan merosakkan filamen lampu.