Mencuba untuk mengekalkan suhu dalaman alat semikonduktor pada tahap yang rendah sambil meningkatkan suhu proses merupakan masalah yang sukar diatasi. Kebanyakan pemanas biasa hanya menyebarkan haba ke seluruh tempat. Ia sama seperti meletakkan pemanas ruangan di dalam kotak kadbod – akhirnya, keseluruhan komponen peralatan akan menjadi seolah-olah radiator yang besar. Peralatan yang mahal ini akan mengalami overheating, dan para pekerja pula perlu risau tentang kemungkinan terbakar.
Kami telah mencari cara yang lebih baik: penggunaan pemanasan inframerah berarah. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan, iaitu terus ke wafer atau substrat tersebut. Ini dapat mengelakkan masalah “penyimpanan haba” yang sering berlaku, yang boleh merosakkan dinding kabinet peralatan. Anda akan mendapat tenaga haba yang diperlukan di titik fokus, sementara bahagian lain dari peralatan tetap sejuk. Dengan cara ini, kulit mesin tidak akan terbakar.
Namun, kita tidak boleh menggunakan kabel biasa sahaja. Jika menggunakan kabel PVC biasa, ia akan pecah atau cair dalam masa beberapa minggu sahaja. Ia memang tidak sesuai untuk digunakan dalam situasi ini. Itulah sebabnya kami menggunakan kabel yang dilapisi dengan Teflon (PTFE). Kabel jenis ini mampu menahan haba yang tinggi, dan tidak terjejas walaupun terdedah kepada bahan kimia. Walaupun terdedah kepada radiasi inframerah, kabel ini masih tetap fleksibel dan dapat berfungsi dengan baik.
Namun, anda masih perlu berhati-hati dalam susunan kabel tersebut. Walaupun Teflon mempunyai kelebihannya, ia juga mempunyai batasannya. Jika kabel secara tidak sengaja bersentuhan dengan bahagian kuarsa lampu semasa ia beroperasi, maka kabel tersebut akan rosak. Anda perlu merancang susunan kabel dengan teliti agar tiada kabel yang berada di laluan haba tersebut.
Apabila perlindungan dan reflektor dipasang dengan betul, haba akan dialirkan tepat ke tempat yang diinginkan. Dengan cara ini, sistem HVAC di fasiliti anda dapat berehat seketika, dan anda tidak perlu lagi risau tentang masalah “dinding panas” yang menyusahkan reka bentuk alat-alat tersebut.