고부하 상태에서 웨이퍼가 오염되는 것을 막는 방법
반도체 건조 과정에서 가장 끔찍한 상황은 바로 IR 램프가 파손되는 것입니다. 고부하 작동 중에 램프가 파손되면, 단순히 전구가 깨진 것에 그치지 않습니다. 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되죠. 이는 생산 과정에 치명적인 타격을 줍니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 많은 시간을 투자해왔습니다.
열충격의 문제점
높은 생산량을 목표로 할 때는 열이 필요합니다. 하지만 문제는, 차가운 세척수가 뜨거운 석영관에 닿으면 온도 변화가 극심해진다는 것입니다. 일반적인 램프는 이러한 스트레스를 견딜 수 없습니다. 그래서 램프가 깨져버리는 것입니다.
이를 해결하기 위해 우리는 두꺼운 벽의 석영을 사용합니다. 또한 램프의 양쪽 끝에는 특수한 방수 씰을 부착합니다. 이를 통해 습기가 램프 내부로 들어오는 것을 막을 수 있습니다. 습기가 들어오면 전기적 단락이 발생하거나 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다.
안전장치 마련
우리는 단순히 램프가 그대로 유지되기를 기대할 뿐만 아니라, 보호용 커버로 램프를 감싸줍니다. 이는 마치 물리적인 장벽과 같은 역할을 합니다. 만약 내부의 가열 요소가 파손된다 해도, 외부 케이스가 그 파편들을 막아줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 깨끗하게 유지됩니다. 이는 램프가 고장 나도 생산 과정이 중단되지 않도록 하는 간단한 방법입니다.
장단점 및 대응 방법
물론, 석영층을 추가하면 IR선의 전달이 일부 차단됩니다. 그래서 “원래의 성능”을 얻을 수는 없습니다. 하지만 이는 쉽게 해결할 수 있습니다. 단지 출력을 높여서 원하는 속도를 유지하면 됩니다. 다만 주의해야 할 점은, 전력 공급 장치가 추가된 부하를 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 한다는 것입니다.
마지막으로, 정확한 PID 제어를 사용하는 것이 중요합니다. 적절한 감속 과정 없이 전원을 켜고 끄는 것은 필라멘트를 손상시킬 수 있습니다. 방수 씰이 아무리 훌륭하더라도, 열의 영향은 여전히 존재합니다.