OLED 라인에서는 어떠한 마진도 허용되지 않는다. 심지어 1℃만 변동해도 소프트 베이크 시 포토레지스트 프로파일이 변한다. 균일하지 않은 하드 베이크는 조용히 수율을 갉아먹는다. 7×24 가동하는 팹에서는 건조 공정이 잠시 멈춤이 아니다. 그것은 시간당 반드시 유지해야 하는 제약 조건이다.
기술적으로 중요한 점
우리는 OLED 제조용 건조 램프를 반복 가능한 열과 청정 전달을 기반으로 설계했다. 단파 할로겐 소자는 빠른 반응 속도와 엄격한 온도 제어를 제공한다. 쿼츠 외피와 반사경 형상은 베이크 존 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일도를 ±0.1℃ 이내로 유지한다.
이 램프는 Class 1~100 클린룸과 호환되며, 운전 중 입자 발생이 전혀 없다. 필터링 부담 없이 입자 수를 규격 내로 유지한다.
실제 적용에서의 효과
이 램프는 리소그래피 및 포토레지스트 공정의 핵심 문제점들, 즉 일관된 소프트 베이크, 안정적인 하드 베이크 그리고 치수 안정성을 유지하는 예측 가능한 건조 공정을 해결한다. OLED 적층 공정에서는 민감한 층을 과열하지 않고 완전히 수분과 용제를 제거해야 한다.
그 결과 재작업 수가 줄고 치수 분포가 엄격해지며, 공정 윈도우가 감소하지 않는다. 장비는 5,000시간 이상 작동하면서 5% 미만의 출력 변동만 발생하므로, 예기치 않은 가동 중단 없이 계속 운전할 수 있다.
알아야 할 사항
설치는 램프를 챔버 형상과 기류에 맞추는 작업에 집중된다. 열 균일도는 위치 선정과 차폐에 따라 달라진다. 다양한 기판 타입에 맞추어 세트포인트 프로파일을 조정하는 짧은 시운전을 예상해야 한다.
램프는 전압 변동이 ±2% 이내일 때 가장 안정적으로 작동한다. 베이크 레시피는 세트포인트 온도가 아닌 실제 웨이퍼 온도에 맞춰 항상 보정해야 한다. 라인 트립을 방지하기 위해 예방 정비 시점에 맞춰 램프 교체를 계획해야 한다.