近赤外線 NIR 発光球

ファブフロアでは、フォトレジストの焼成やウエハの乾燥中の熱ドリフトは、単なるスループットの低下要因ではありません。それは重要な寸法を変化させ、静かに歩留まりを損ないます。私たちは、熱的挙動を予測可能に保つために、近赤外線（NIR）エミッターバルブを設計しました。 重要な内部の要素 NIRは、低熱慣...