MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMS用の装置をオーブンのように使うのはやめましょう。 もし、ウェーハの乾燥に通常の対流式ヒーターを使ったことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしても、結局はチェンバー全体が加熱されてしまいます。高価な装置の内壁は、まるでスポンジのようにそのエネルギーを吸収してしまい...