化学洗浄エリアでの温度管理 正直に言って、可燃性溶剤の周りに赤外線ランプを使うのは非常に危険です。ちょっとした火花や、表面が過度に熱くなるだけで、大変な事態になりかねません。これは非常に危険な環境です。 だからこそ、私たちはリスクを冒しません。高純度のアルミニウム製の反射器と、頑丈なシーリングを組...

なぜ、精密赤外線技術がスマートファブの真の支柱なのか 将来のIndustry 4.0型スマートファブを構築しようと考えている方へ。重要なのは、単に温度を上げるだけではないということです。大事なのはデータです。 私たちは、クリーンでデジタル処理に適した信号を得られるように、精密な赤外線システムを開発...

リソグラフィフロアでは、フォトレジストは意図には依存せず、温度に反応する。ソフトベーク中にウエハー上でたった1℃のドリフトがあれば、ロット全体でCDばらつきとして現れ、熱予算を圧迫する。IRエミッターアセンブリのセラミックエンドキャップは、そのドリフトが発生する場所を抑制する役割を持つ。 技術的に...