真空チャンバー赤外線ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中に0.5°Cのドリフトがあるだけで、クリティカルディメンション（CD）のターゲットがずれ始め、歩留まりが低下する可能性があります。真空チャンバーの赤外線ヒーターは、ソフトベークとハードベークの変動を排除するために設計されています。これらの工程では、熱的な予...