Menghentikan Kontaminasi Wafer Selama Proses Pencucian dengan Beban Tinggi
Mari kita bicarakan tentang situasi buruk yang bisa terjadi saat proses pengeringan semikonduktor: lampu IR yang rusak. Jika lampu tersebut rusak saat proses pencucian berlangsung dengan beban tinggi, maka bukan hanya bola lampu yang rusak, tetapi juga pecahan kaca dan zat kimia yang jatuh ke atas wafer. Hal ini tentu akan merusak hasil produksi Anda. Kami telah menghabiskan banyak waktu untuk mencari cara untuk mencegah hal ini terjadi.
Masalah akibat gangguan termal
Ketika Anda ingin meningkatkan kapasitas produksi, Anda membutuhkan panas—dan panas tersebut harus didapatkan secepat mungkin. Namun, masalahnya adalah ketika air dingin menyentuh tabung kuarsa yang sangat panas, suhu akan naik turun secara drastis. Lampu biasa tidak mampu bertahan menghadapi tekanan seperti ini; lampu tersebut akan patah. Untuk mengatasi hal ini, kami menggunakan kuarsa berdinding tebal. Kami juga menambahkan lapisan kedap air di ujung tabung tersebut. Hal ini dapat mencegah kelembapan masuk ke dalam tabung, sehingga menghindari terjadinya kerusakan pada filamen lampu.
Membuat sistem perlindungan
Kami tidak hanya berharap lampu tersebut tetap utuh. Kami melapisi lampu tersebut dengan lapisan pelindung berbentuk kapsul kuarsa yang tertutup rapat. Ini berfungsi sebagai penghalang fisik. Jika bagian pemanas di dalam lampu rusak, lapisan luar akan menahan semua serpihan tersebut. Dengan demikian, substrat tetap bersih. Ini merupakan cara sederhana untuk memastikan bahwa kegagalan lampu tidak berdampak pada proses produksi.
Kompromi yang harus diterima (dan cara mengatasinya)
Penambahan lapisan kuarsa ini tentu akan mengurangi intensitas cahaya IR yang dipancarkan oleh lampu. Anda tidak akan mendapatkan intensitas cahaya yang setinggi ketika menggunakan tabung kuarsa biasa. Namun, hal ini mudah diatasi. Kami cukup meningkatkan daya listrik yang digunakan agar intensitas cahaya tetap memadai. Perlu diingat bahwa suplai daya harus mampu menangani beban tambahan tersebut agar waktu proses produksi tetap stabil.
Satu tips lagi: gunakan kontrol PID yang tepat. Jika Anda langsung menyalakan atau mematikan lampu tanpa proses penurunan daya yang tepat, filamen lampu akan rusak. Tidak peduli seberapa baik lapisan kedap airnya, hukum fisika tetap akan berlaku.