Lihatlah wafer yang keluar setelah proses pencucian terakhir. Anda akan tahu apa yang akan terjadi selanjutnya: waktu mulai dihitung segera setelah wafer keluar dari air. Proses pengeringan konvensional yang memiliki kesalahan suhu sebesar 0,5°C saja sudah dapat menyebabkan stres pada lapisan permukaan wafer, cacat pada lapisan fotoresist, serta adanya partikel-partikel yang menempel pada permukaan wafer. Kami merancang sistem pengeringan berkelanjutan dengan tingkat presisi tinggi, dengan target keseragaman suhu sebesar ±0,1°C di seluruh permukaan wafer, setiap siklusnya.
Yang penting dalam sistem ini adalah keseragaman suhu. Inti dari sistem ini adalah modul termal yang kompatibel dengan ruang bersih dan bebas partikel, sehingga mampu menjaga keseragaman suhu sebesar ±0,1°C di seluruh permukaan wafer. Kontrol berbasis sirkuit tertutup menggunakan sensor berresolusi tinggi dan aliran udara yang rendah turbulensinya, sehingga tidak ada titik panas atau titik dingin yang terbentuk. Dengan demikian, profil suhu menjadi konsisten, sehingga proses pembakaran fotoresist berjalan sesuai prosedur yang ditetapkan, tanpa adanya penyimpangan. Kami juga memantau penggunaan energi secara real-time, sehingga Anda dapat mengetahui penggunaan energi per batch, per alat, dan per shift.
Inilah mengapa hal ini sangat penting dalam proses litografi dan pemrosesan fotoresist: keseragaman suhu merupakan faktor penentu kontrol dimensi dan hasil produksi. Jika permukaan wafer tetap dalam kondisi yang tepat, maka kebutuhan akan proses perbaikan atau pembuangan produk akan berkurang. Audit energi membantu kita untuk menemukan cara untuk mengurangi penggunaan energi, misalnya dengan mengurangi kecepatan aliran udara tanpa merusak keseragaman suhu, atau dengan merancang proses pembakaran yang lebih efisien. Hasilnya? Lebih sedikit partikel yang terbentuk, lebar garis yang tetap stabil, dan penggunaan energi per wafer yang lebih rendah.
Beberapa hal praktis yang perlu diperhatikan: modul ini membutuhkan pasokan listrik dan sistem ventilasi yang sesuai dengan standar ruang bersih kelas 1–100. Modul ini juga dapat terhubung ke kontroler proses yang sudah ada melalui antarmuka standar. Luangkan waktu untuk menyesuaikan parameter proses sesuai dengan jenis fotoresist yang digunakan. Satu hal yang perlu diperhatikan adalah bahwa tingkat keseragaman suhu yang tinggi berarti kurangnya toleransi terhadap fluktuasi suhu lingkungan, jadi pastikan kondisi lingkungan tetap stabil.
Hasilnya adalah proses yang dapat diulang secara konsisten, ditambah dengan data penggunaan energi yang berguna untuk membimbing cara pengoperasian mesin.