उच्च-लोड स्थितियों में वेफरों के संदूषण को रोकना
आइए, अर्धचालकों को सुखाने की प्रक्रिया में होने वाली समस्याओं के बारे में बात करते हैं… जैसे कि आईआर लैंप का टूट जाना।
यदि उच्च-लोड स्थितियों में लैंप टूट जाता है, तो यह सिर्फ एक टूटे हुए बल्ब की समस्या नहीं है… बल्कि काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफरों पर गिर जाते हैं… यह तो आपके उत्पादन के लिए एक बड़ी आपदा है। हमने इस समस्या को रोकने के तरीकों के बारे में बहुत सोचा है।
थर्मल शॉक की समस्या
जब आप उच्च उत्पादन दर हासिल करने की कोशिश करते हैं, तो आपको तेज गर्मी की आवश्यकता होती है… लेकिन समस्या यह है कि जब ठंडा पानी गर्म क्वार्ट्ज ट्यूब पर गिरता है, तो तापमान में अचानक बदलाव हो जाता है।
सामान्य लैंप ऐसे तनाव को सहन नहीं कर पाते… इसलिए वे टूट जाते हैं।
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम मोटी दीवारों वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… साथ ही, लैंप के छोरों पर विशेष जलरोधक सील भी लगाते हैं… इससे नमी लैंप के अंदर नहीं जा पाती… और इससे विद्युत शॉर्ट सर्किट या फिलामेंटों के जलने की समस्या भी नहीं होती।
सुरक्षा उपाय
हम बस यही उम्मीद नहीं करते कि लैंप सुरक्षित रहेगा… हम इसे एक सुरक्षात्मक आवरण में लपेट देते हैं… यह तो एक भौतिक बाधा ही है… यदि अंदर का तापन तत्व टूट जाता है, तो बाहरी आवरण सब कुछ रोक लेता है… ऐसे में आपका उत्पाद भी साफ रहता है… यह तो एक सरल तरीका है… जिससे लैंप के खराब होने से उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित न हो।
त्याग एवं उनसे निपटने के तरीके
अब, अतिरिक्त क्वार्ट्ज परत लगाने से आईआर विकिरण में कुछ कमी आ जाती है… लेकिन इसका समाधान आसान है… हम बस वॉटेज को बढ़ा देते हैं… ताकि उत्पादन दर वैसी ही रहे… बस ध्यान रखें कि आपका पावर सप्लाई अतिरिक्त लोड को सहन कर सके… ताकि उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित न हो।
एक और सलाह: सटीक PID नियंत्रण का उपयोग करें… यदि आप बिना उचित नियंत्रण के ही विद्युत प्रवाह को चालू/बंद करते हैं, तो फिलामेंट नष्ट हो जाएगा… जलरोधक सील कितनी भी अच्छी हो, गर्मी के कारण फिलामेंट नष्ट हो ही जाएगा।