Arrêter l’horreur de la contamination des wafer
Soyez honnête : dans une production à forte charge, l’idée qu’une lampe infrarouge puisse exploser suffit à empêcher n’importe quel ingénieur de dormir. Il ne s’agit pas seulement du fait que le chauffage cesse de fonctionner. Le vrai problème, c’est ce qui se passe ensuite. Lorsqu’un tube en quartz casse, des éclats de verre et des matières chimiques se retrouvent sur la surface des wafer. Un seul incident suffit pour ruiner toute la production. C’est pourquoi nous conçons nos systèmes infrarouges afin d’éviter que ce “scénario catastrophique” ne vienne gâcher votre journée.
Le “point idéal” pour assurer la sécurité
Nous ne choisissons pas simplement l’endroit où placer la lampe. Nous prenons en compte le gradient thermique. Si la lampe est trop proche, la chaleur est trop intense. Cela provoque des points chauds localisés sur le quartz, ce qui entraîne des tensions dans le matériau… et finalement, des fissures. Nous prévoyons donc une zone tampon entre la lampe et les wafer. Cela permet à la radiation de se répartir uniformément, sans que le tube ne subisse de contraintes excessives. Ainsi, vous obtenez toujours une vitesse de chauffage suffisante pour votre processus.
Éviter les débris
Nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté pour minimiser les émissions gazeuses. Mais ce n’est pas tout. Nous recommandons également l’utilisation d’une barrière physique ou d’un cadre de protection spécialisé. Cela permet de maintenir la lampe bien fixée et d’éviter qu’elle ne se déforme avec le temps. Si un tube finit par tomber en panne, le cadre de protection retiendra les débris. Ainsi, aucun éclat de verre ne touchera vos wafer. Point final.
L’équilibre à trouver
Plus la densité de puissance est élevée, plus le chauffage est rapide. Cela semble positif pour le temps de traitement, mais cela exerce une grande pression sur le quartz. Si vous essayez d’obtenir une puissance maximale pour gagner quelques secondes, vous devez augmenter le flux de refroidissement vers les extrémités de la lampe. Si ces électrodes surchauffent, la fermeture de la lampe sera compromise. Il s’agit donc d’un compromis. Nous recommandons généralement de trouver un équilibre entre la vitesse de traitement et une Distance de sécurité suffisante. C’est bien mieux que de faire face à des arrêts imprévus et à des wafer endommagés.