در خط OLED، هیچ حاشیهای وجود ندارد. یک پخت نرم که حتی ۱ درجه سانتیگراد جابهجا شود، نمایهی فوتورزیت را تغییر میدهد. یک پخت سخت بدون یکنواختی به آرامی باعث کاهش بازده میشود. و در یک کارخانه ۷×۲۴، مرحله خشککردن یک توقف نیست؛ این یک محدودیت است که باید ساعت به ساعت حفظ شود.
نکات فنی مهم
ما چراغ خشککردن تولید OLED را حول تامین حرارت تکرارشونده و تحویل پاک طراحی کردیم. عناصر هالوژنی موج کوتاه پاسخ سریع و کنترل دقیق دما را فراهم میکنند. پوشش کوارتزی و هندسه رفلکتور یکنواختی در سطح ویفر را با دقت ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر ناحیه پخت حفظ میکنند.
این سیستم با ردههای اتاق تمیز Class 1–100 سازگار است و طراحی آن در حین عملیات هیچ رویداد ذرهای تولید نمیکند. شمارش ذرات در محدوده مشخصات باقی میماند بدون اینکه نیاز به فیلتر اضافی داشته باشد.
دلیل عملکرد در عمل
چراغ به مسائل اصلی لیتوگرافی و فرآیند فوتورزیت میپردازد: پخت نرم یکنواخت، پخت سخت پایدار و خشک شدن قابل پیشبینی که ابعاد بحرانی را تحت کنترل نگه میدارد. در استکهای OLED باید رطوبت و حلالها به طور کامل استخراج شوند—بدون گرم کردن بیش از حد لایههای حساس.
این امر به تعداد کمتر دفعات بازکاری، توزیع دقیقتر CD و پنجرههای فرآیندی که کوچک نمیشوند منجر میشود. واحدها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار میکنند با انحراف خروجی کمتر از ۵٪، بنابراین میتوانید بدون توقفهای برنامهریزینشده ادامه دهید.
مواردی که باید بدانید
نصب وابسته به تطبیق چراغ با هندسه محفظه و جریان هوا است. یکنواختی حرارتی به موقعیتیابی و سایهبان بستگی دارد. انتظار یک دوره راهاندازی کوتاه برای تنظیم پروفایل نقطه تنظیم در انواع بسترها را داشته باشید.
چراغ بهترین عملکرد را وقتی دارد که ولتاژ در محدوده ±۲٪ باقی بماند. و همیشه دستورالعمل پخت را نسبت به دمای واقعی ویفر، نه فقط نقطه تنظیم، کالیبره کنید. تعویضها را حول پنجرههای تعمیر و نگهداری پیشگیرانه برنامهریزی کنید تا خط تولید دچار مشکل نشود.