Out on the line، میدانید اوضاع چگونه است: تغییر نیم درجهای در دمای soft bake کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی را خارج از مشخصات کند. این دقیقا همان واقعیتی است که لامپ خشککن DNS (Screen) برای آن طراحی شده است. این لامپ یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±0.1°C در سراسر چاک نگه میدارد، بنابراین پروفایلهای پخت رزین نوری شما ثابت میمانند—شات به شات، بچ به بچ.
آنچه از نظر فنی در زیر کاپوت است
این لامپ از منبع مادون قرمز کوتاهموج داخل یک محفظه کوارتز استفاده میکند که برای جذب لایههای رزین نوری مورد استفاده ما تنظیم شده است. پاسخدهی زیر یک ثانیه است و تکرارپذیری دما در طول بیش از 5,000 ساعت در محدوده 1°C باقی میماند، با کاهش خروجی کمتر از 5٪. ماژول برای کلاس تمیزکاری Cleanroom 1–100 ساخته شده است، با مسیر کنترل شده ذرات و بدون تولید ذره در نقطه حرارتی. خروجی برای ارائه بودجه حرارتی قابل تکرار کالیبره شده است و بهطور تمیز با پلتفرمهای استاندارد خشککن Screen ارتباط برقرار میکند.
چرا در پشتیبانی لیتوگرافی کاربرد دارد
در پشتیبانی لیتوگرافی، این لامپ ثبات هر دو مرحله soft bake و hard bake را فراهم میکند، نوسانات عرض خط را کاهش میدهد و از نیاز به تعمیر مجدد جلوگیری میکند. کنترل شیب حرارتی زمان سیکل را کاهش میدهد بدون اینکه کیفیت فیلم را تحت تأثیر قرار دهد، و مصرف انرژی به دلیل گرمادهی سریع و هدفمند کم باقی میماند. این لامپ برای کارکرد 24/7 بدون توقفهای ناخواسته طراحی شده است و طراحی آن باعث کاهش تعویض قطعات مصرفی میشود—که به روند تولید سرعت میبخشد.
آنچه باید در نصب و راهاندازی رعایت کنید
نصب مستلزم تراز دقیق با اپتیک خشککن و چاک است و باید لامپ را در محدوده ولتاژ تعیینشده نگه دارید تا یکنواختی حفظ شود. یک دوره گرم شدن کوتاه وجود دارد و لازم است به صورت دورهای شدت نور بررسی شود تا مشخصات ±0.1°C یکنواختی حفظ شود. لامپ را با مدل خاص خشککن تطبیق دهید تا پنجره فرآیند در همان جایی که تنظیم کردهاید باقی بماند.