در کف کارخانه، ۲۴ ساعته و هفت روز در هفته، دستگاه نمیتواند با هرگونه اختلال حرارتی کنار بیاید. در صورتی که یکی از عناصر گرمایشی دستگاه دچار اختلال شود، دماهای لازم برای فرآیندهای پخت نرم و سخت، خارج از محدوده مشخص شده قرار خواهد گرفت. در نتیجه، استانداردهای لیتوگرافی نقض خواهد شد؛ ویفرها نیز از کار خواهند افتاد. برنامههای کاری نیز به تأخیر خواهند افتاد. ما از عنصر گرمایشی جایگزین آکسلیس برای جلوگیری از این مشکلات استفاده میکنیم.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ این عنصر گرمایشی بر اساس اصل یکنواختی حرارتی در سطح ویفر طراحی شده است؛ به طوری که دمای صفحه پخت در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نسبت به مقدار تنظیم شده باقی بماند. ساختار کوارتزی و پاسخ سریع این عنصر به امواج مادون قرمز، باعث میشود که دما به سرعت و به طور قابل تکرار تغییر کند؛ درست همان چیزی که برای کنترل دقیق دما در فرآیندهای لیتوگرافی مورد نیاز است. این عنصر برای استفاده در اتاقهای پاک، در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، مناسب است؛ همچنین هیچ ذرهای تولید نمیکند و سطح آن در برابر شویندههای قوی نیز مقاومت خوبی دارد. انتظار میرود که عمر این عنصر بیش از ۵۰۰۰ ساعت باشد؛ با این حال، تغییر دما کمتر از ۵٪ خواهد بود.
چرا این عنصر در فرآیندهای لیتوگرافی مقاوم است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی با حجم بالا، تنها چیزی که قابل قبول است، عدم وجود توقفات غیرمنتظره در فرآیند تولید است. این عنصر جایگزین، از تکرارپذیری فرآیندهای پخت نرم و سخت حمایت میکند؛ بنابراین تغییرات دما نیز کمتر خواهد بود. در نتیجه، پروفیلهای دمایی پایدارتر خواهند بود، تعداد محصولاتی که نیاز به اصلاح دارند کمتر خواهد شد، و مصرف انرژی نیز کاهش خواهد یافت. کافی است این عنصر را نصب کرده و در صورت نیاز آن را تعویض کنید؛ بدون نیاز به تنظیمات اضافی و بدون هیچ مشکلی.
نکاتی که باید در نظر گرفت: باید این عنصر را با مدل دقیق دستگاه آکسلیس، توان، ولتاژ و رابطات اتصالی آن هماهنگ کرد. اگر استانداردهای اتصال یا نصب مناسب نباشد، یکنواختی حرارتی کاهش خواهد یافت و عمر عنصر نیز کوتاه میشود. پس از نصب، باید مپ حرارتی محفظه پخت را دوباره بررسی کرد و موقعیت سنسور دما را نسبت به عنصر گرمایشی بررسی کرد. حتی کمترین تغییر میتواند باعث خروج پروفیل دمایی از محدوده مشخص شده شود.